瑞士 SAWATEC HP‑150 精密热板:光刻胶软烘与硬烘工艺专用烘烤设备
在黄光微纳光刻流程中,光刻胶软烘、硬烘是决定图形线宽、膜厚均匀性、附着力与工艺良率的核心热处理工序。瑞士SAWATECHP‑150精密热板专为光刻软烘、硬烘、曝光后烘烤、衬底脱水烘烤开发,适配6英寸晶圆及方形衬
在黄光微纳光刻流程中,光刻胶软烘、硬烘是决定图形线宽、膜厚均匀性、附着力与工艺良率的核心热处理工序。瑞士SAWATECHP‑150精密热板专为光刻软烘、硬烘、曝光后烘烤、衬底脱水烘烤开发,适配6英寸晶圆及方形衬
芳纶复合绝缘纸交变湿热老化试验方案1试验目的芳纶复合绝缘纸是变压器、电抗器、高压母线的核心绝缘基材,长期湿热环境下会发生水解、绝缘电阻衰减、分层、力学强度下降。本试验依据GB/T2423.4,采用复层式节能温湿